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    2021-12-28 13:35:03
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    RMA系列匹配器

    可适配于RLS系列射频电源使用，广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子去胶等工艺。单独使用时，可与其他厂家射频电源配套使用。
    零售价
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    元
    市场价
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    产品编号
    产品系列:
    RMA系列
    数量
    -
    +
    库存:
    0
    产品描述
    参数
    型号定义
    主要参数

    ● 全数字控制，匹配精度高，匹配时间短

    ● 采用真空电容，可靠性高，使用寿命长

    ● 结构紧凑，体积小，安装便捷

    ● 超宽匹配范围，可定制适配任意负载

    ● 具有手动/自动匹配功能

    ● 具有保持和预置设定功能

    ● 具有通讯功能，可独立连接上位机实时显示负载状态

    ● 可定制化输出接口

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    技术指标

    控制电压：AC220V±10%

    传输功率：0.5~5kW

    频率：2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

    匹配时间：端对端＜5s，预设点到匹配点＜0.5~3s

    驻波：＜1.2

    阻抗实部：5~200Ω

    阻抗虚部：+200~-200j

    射频输出电压：4000Vpeak

    射频输出电流：25~40Arms

    输入接口：N型

    输出接口：铜排或L29

    注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。
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