微波开关电源是基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源，集阳极高压电源、灯丝电源和磁场电源(3kW微波电源除外)于一体,为3kW、6kW、10kW、15kW、25kW、75kW、100kW连续波磁控管提供工作条件。该产品用于MPCVD、微波等离子体刻蚀、微波等离子体去胶等领域。