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    MSB系列中频溅射电源

    抖圈电气中频溅射电源凭借优异的波形调制技术,可实现输出直流、直流脉冲、双向方波、双向梯型波等波形。产品具有输出波形可调,输出频率可选,占空比可调,功率控制精准,以及低能量存储和快速的电弧反应。为镀膜工艺提供便利、精准的控制。产品主要应用于各种薄膜制造工艺,太阳能电池片行业,真空镀膜行业;应用工艺:磁控溅射工艺、孪生靶溅射、管式PECVD。
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    产品编号
    产品系列:
    MSB系列
    数量
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    库存:
    0
    产品描述
    参数
    型号定义
    主要参数

    ● 机架式安装方式
    ● 快速的电弧响应,响应时间<100ns
    ● 低能量储存,<0.5mJ/kW
    ● 采用多相交错PFC技术,功率因数高达0.95
    ● 输出模式多样,可实现连续、断续模式可选择
    ● 逆变回路采用全软开关技术,采用第三代半导体SiC作功率器件,效率优异

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    输入

    输入电压:3AC380V、50/60Hz

    功率等级:20kW

    输出路数:2路

     

    输出

    最大输出电流:50A*2

    最大输出电压:600V*2

    技术指标

    功率因数:0.95

    转换效率:94% 额定状态下±0.5%

    调节精度:±0.5%

    电弧响应时间:<100ns

    尺寸:4U

    通讯:标配RS485/RS232(可选配 Profibus、Profinet、DeviceNET、EtherCAT)

    注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。

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